1.擺片精密研磨

      擺片研磨是利用壓嵌在磨盤上的磨料通過兩個研磨盤加壓一定的壓力讓擺片與磨盤做相對運動從而對工件表面進行精密加工低剛度擺片的凸臺擺放及外環的加工主要靠研磨加工。

2.擺片刻蝕加工

      梁的加工采用的是化學刻蝕方法擺片材料為石英玻璃不熔融的大多數強酸但熔融酸及--一些含氟離子的鹽溶液目前行業內大多都采用酸刻蝕擺片

      在低剛度擺片刻蝕工藝研究中初步設計了專用的高級掩膜膜工裝包括精度檢測輔助工裝確保高精度擺片的精準刻蝕工裝的設計主要考考慮以下幾個因素

      定位精準度，便于拆卸不損傷擺片，能承受酸的腐蝕，結構簡單操作方便

      工裝設計中拾取抗腐蝕性能更好的氟硅橡膠和因而青銅作為掩膜材料

      此時在刻蝕方法上采取分步刻蝕浸入臘保護方案梁的刻蝕最關鍵的工藝中采用多次刻蝕方案完成刻蝕過程中對刻蝕溫度進行了反復摸索對刻蝕時間刻蝕速率進行了精確的計算并增加了多次檢測連續最終將擺片梁的加工精度準確地控制在

      最后分析解決刻蝕中最常見的兩個關鍵問題，其中梁刻蝕中的亞表面質量問題最常見分析其機理為放置片表面存在缺陷或損傷經酸浸蝕缺陷部位的活化能小反應速率快隨手著時間的延長缺陷部位的腐蝕速率與完好表面的腐蝕速率出現顯著的差異刻蝕后質量缺陷暴露出來分析其導致為

      擺片原材料缺陷，擺片磨研過程中的損傷，擺片激光切割后的殘留裂紋

      針對以上三種原因通過嚴格控制原材料的質量對磨研激光切割工藝進行細化研究嚴格控制加工質量避免問題反復

       梁斷裂問題屢見不鮮不剛低剛度擺片梁很薄安裝清洗檢測操作時都非常容易斷裂目前主要通過工藝防護及詳細的操作規范控制成活率隨后又需進一步研究刻蝕防護工藝。