低剛度石英加速度計擺的切割工藝

擺片激光切割是用激光器利用經聚焦的高功率密度激光束照射工件在超過閾值功率密度的前提下熱能被材料吸收由此引起照射點材料溫度急劇上升達到沸點后材料開始氣化并形成孔.洞  隨著光束與工件的相對移動最終使材料形成切縫切縫處的熔渣被-定壓力的輔助氣體吹除從而達到切割的效果

低剛度擺片切割質量主要與激光切割設備的輸出功率切割速度焦距氣體壓力等相關課題組利用正交試驗法開展了切割工藝參數研究試驗經過多次反復摸索得出了最佳匹配參數利用最佳切割參數加工了余片擺片 經檢測  擺片符合指標要求不符合要求的擺片還需進一步分析原因激光切割后進行了高溫退火去應力處理檢測應力值在合格范圍內

擺片鍍膜是指將擺片連同定位工裝置于真空室中通過蒸發源加熱使蒸氣的原子或分子從蒸發源:表面逸出由于空間氣體分子的平均自由程大于真空室的線性尺寸因此很少與其他分子或原子碰撞可直接到達擺片表面凝結后形成薄膜

低剛度石英加速度計擺的鍍膜工藝

鍍膜工藝研究中首先對鍍膜工裝進行精確設計然后開展多次試驗反復應用其次是調整鍍膜設備工藝參數主要包括設備真空度烘烤溫度烘烤時間鍍膜時間等多項參數不同的鍍膜設備，鍍膜工藝會有所不同。

在低剛度擺片加工工藝研究中研磨工藝研究為低剛度擺片提供了高精度的尺寸基準優質的表面質量適當的殘余應力激光切割工藝準確的控制了擺片的成型尺寸刻蝕工藝精確的控制了擺片梁等關鍵尺寸的成型精度鍍膜工藝完善了擺片的電氣功能這四序工藝領域跨度大相互獨立但要研制出高精度的低剛度擺片必須將其有機結合并不斷優化改進