MEMS IMU的常見技術參數:

(1)量程

MEMS慣性器件在開機后系統穩定輸出后觀測信息中包含的誤差，可以通過靜態情況下的初始化求取均值消除

(2)非線性度.

(3)初始偏置誤差

MEMS慣性器件在開機后系統穩定輸出后觀測信息中包含的誤差，可以通過靜態情況下的初始化求取均值消除

(4)對齊誤差

MEMS IMU通常具有兩種類型的對齊誤差，它們相互關聯，但在系統級建模中具有不同應用:軸到封裝和軸到軸。

軸到封裝對齊誤差”描述陀螺儀相對于器件封裝上特定機械特性的對齊情況。將IMU安裝到系統后，如果系統無法支持慣性對齊，則軸到封裝對齊誤差將成為整體對齊誤差的主要因素之一。系統與IMU的機械接口的機械缺陷也會增加整體對齊誤差。

 “軸到軸對齊誤差”描述各個陀螺儀旋轉軸相對于其他兩個陀螺儀的相對對齊精度。在系統可以實現簡單的對齊過程時，此參數影響最大，此時通常沿系統的慣性參考系中的一個軸直線移動整個組件(IMU已安裝在系統平臺上)，同時需要觀察傳感器。

(5)隨機游走，噪聲密度

隨機游走過程:當前觀測值完全由下一-時刻觀測值加上現時噪聲決定，即n時刻的輸出由n-1時刻的輸出和隨機誤差和加和決定陀螺角度游走過程:寬帶角速率白噪聲積分的結果，即陀螺從0時刻累積的總角增量誤差表現為隨機游走，而每- -時刻的等效角速率誤差表現為白噪聲

噪聲密度:傳感器固有噪聲代表的是陀螺儀在靜態慣性和環境條件下運行時其輸出中的隨機振動。MEMS IMU數據手冊通常會提供速率噪聲密度(RND)參數來描述陀螺儀相對于頻率的固有噪聲。此參數通常使用單位° /s/ VHz，是預測特定濾波器配置固有噪聲的關鍵。

(6)偏置溫度系數(溫飄)

MEMS慣性器件的零偏會受到環境溫度的影響而產生變化，針對這種影響，一種方案是對器件進行溫度標定，另- -種方式是采用恒溫模式