軛由具有低溫度系數和良好磁導率的軟磁性材料組成。用具有良好磁導率的永磁材料的研磨機對電磁鋼進行加工。

柔性片的材料是具有優異溫度性能的石英玻璃，并且形狀通過超聲處理制成。柔性元件的加工通常采用化學刻蝕方法，或者也可以采用反應離子刻蝕工藝來加工整個柔性片，但是成本很高。

由加速度引起的差分電容變化量由伺服電路中的差分電容檢測器檢測，其輸出為電流，該電流通過電流積分器變為輸出電壓，然后通過跨導補償將該電壓轉換為輸出電流放大器。此輸出電流的大小It與輸入加速度成比例。

石英柔性加速度傳感器是一種單軸轉矩反饋加速度傳感器，通過檢測質量來檢測外界的加速度信號，然后由伺服電路進行解調和放大，最終輸出電流信號與加速度成正比。信號。

石英柔性加速度傳感器的性能指標測量精度高，重復性好，可靠性高，體積小，重量輕，電壓范圍廣，功耗低。

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