諧振加速度計，硅振蕩加速度計，稱為SOA。

張力不同時，琴弦的聲音頻率也不同。共振加速度計的原理是相同的。振動梁的一端固定，另一端連接質量塊。當在振動梁軸向上有加速度時，梁將受到軸向力。梁中的張力發生變化，其固有頻率也隨之變化。如果對梁施加一定的激勵，則可以通過檢測其響應來測量其固有頻率，然后可以測量加速度。激勵的施加和響應的檢測通常通過梳齒機構來實現。

SOA的特性是它通過改變二階系統本身的特性來反映加速度的變化，這不同于電容型，壓電型和光波導型的加速度計。

SOA的常見結構包括S結構和雙端音叉（DETF）。下圖顯示了S結構的示意圖。DEFT類型是添加一組相對于質量另一半的左側對稱的機制。DEFT當前是SOA的主流結構。

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